|
Установка вакуумная ВУ- 2М
Изделие предназначено для нанесения в вакууме покрытий на оптические детали методом электронно-лучевого и резистивного испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным фотометрическим контролем толщины покрытия.
Вакуумная установка обеспечивает возможность нанесения металлических, однослойных, просветляющих, ахроматических, интерференционных, зеркальных, фильтрующих, токопроводящих и других оптичеких покрытий для области спектра, ограниченной длинами волн в диапазоне 250-1100м/м.
Откачка камеры до начала проведения процесса напыления может производится в ручном и автоматическом режимах.
В автоматический режим, кроме получения рабочего давления включена ионная очистка деталей и нагрев деталей до заданной температуры с вращением арматуры.
Вакуумная установка состоит:
- откачной пост ( с высоковакуумными средствами откачки);
- агрегат форвакуумный АВР-60;
- комплекс фотометрического
- контроля толщины СФКТ-751В;
- стойки управления.
|
|
| |
|